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Brooks
Disponible
MFC 100 sccm N2
Modèle: 5850S
| Catégorie | Mass flow Controller |
| Fabricant | Brooks |
| Modèle | 5850S |
| Plage de débit | 0 – 100 sccm 0–500 sccm |
| Signal analogique | 0-5 V |
| Signal numérique | None |
| Joints | VITON |
| Raccords | VCR |
| Connecteur | 9 pins |
| Pression d'entrée | More to 0 psig |
| Gaz étalonné | N2 |